无尘车间地板、墙面、口板材料选购的知识控

对于半导体工业而言，无尘车间是一必要且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求非常之严格，故对口板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输，而清除地板所用者大部分为消毒药品及化学药品，当我们看见地板磨损时，也就是使用期已太久，快破裂了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。

无尘车间其选择地板的材料也是很重要的。低廉的C/R地板覆盖着一层乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆盖会引起尘埃，而太软的地板会造成地板弯曲甚致破裂，但并不是所有C/R的地板，都会覆盖，乙烯基。至于维修的问题，对材料的选择是否容易清洁性及维修性都应有其优先级。

而无尘车间的墙若以铝作为材料则将会非常昂贵，但铝却可以保护墙面不被空气所氧化，可是却易受酸性气体的侵蚀，而避免的方法是使用电镀，便铝表面增厚，不易氧化，再在铝表面上再涂上一层亮光漆即可防止金属氧化。

另外，无尘车间*怕的就是粒子泄漏。口板中的滤网有很多种。例如层流式C/R而花板的组成组件包含了HEPA/ULPA滤网组灯光组亦有可能包含空白的嵌板，这类型的口板优点为，放置方式并没有严格的限制。