洁净室常用的仪器仪表

洁净技术目前广应用在电子半导体、制药设备、食品卫生、生物科技、医疗等领域，随着科技的进步对洁净室的要求也越来越高。从洁净室的角度，说说自动化仪表控制与监测技术在洁净室的应用。

现代洁净室技术将洁净室设计建造、洁净室测试与检测、洁净室运行分为三大范畴，每一范畴内都包含了自动化仪表控制与监测技术。净化工程是系统性很强的一项工程，它包括净化围护结构、净化空调系统。

整个系统是否合理、是否*终能够满足空气净化**和生产工艺所要求的各项指标或参数，取决仪器仪表的检测和自动化程度的高低。对于整个净化空调系统来说，净化空调机组和风管是这个系统的重要组成部分。它的作用是对空气进行过滤、加热或降温，加湿或减湿后送至各需要的场所。但是送入房间的空气是否达到了洁净要求，空气的温度、湿度是否满足生产要求，则需要由检测和控制设备来实现。

1.洁净室空调系统的特点

风机的压头高，风量大

温度，湿度控制精度高

正负微差压控制精度高

过滤系统效能要求高

变风量调节要求高

要求具备高的稳定性和可靠性

针对于洁净室工程的特点，在控制仪表和检测仪表方面需要更高的可靠性能和稳定性能，这样不仅能达到工艺生产的目的，还能节能降耗，降低生产成本，保护环境。

2洁净室的微差压的控制：

按工艺要求维持洁净室与周围空间一定的微小差压，可正压或负压。微差压可通过送风口，回风口或余压阀来控制。