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使用超净工作台多为100级的垂直流超净工作台,主要分两类,一类是水平层流超净工作台,另一类是垂直层流。以下是本人对超净工作台检定的一些经验总结,供检定时参考。生物安全柜也可参照执行。

一、技术指标

(l)检漏,超净工作台安装后应该经受气溶胶的泄漏检验和诱人检验。缝隙下游侧浓度超过上游侧浓度的0.01%,则视为有明显泄漏。

(2)操作区洁净度,洁净度)0.5拼m,粒子应该蕊3.5粒子/l,不准许有多5拌m粒子。

(3)风速,操作区平均风速应在0.3一o.6m/s范围内。每个测点应在平均风速的士20%范围内。

(4)噪声,噪声不得超过65db(a声级)。

(5)振动,操作台三个轴向(二,y,:)振幅均不得超过5拼m。

(6)照明,操作台面平均照度不得小于300lx。光线应均匀、柔和,避免眩光。

二、检定方法

2.1泄漏检定方法

使用多分散dop气溶胶,发生器向空气过滤器上游侧发dop气溶胶,同时用检漏装置的采样器在下游侧距空气过滤器出口约2.sem处进行扫描巡检。采样为47.2x一。一5m3/s仁28.3l/min」,巡检速度蕊sem/s。当下游侧浓度与上游侧浓度的比大于0.01%时,则认为有明显泄漏,应进行堵漏。

2.2操作区洁净度检定方法

尽量采用大流量(47.2x10’5m3/s仁28.3l/minj)尘埃粒子计数器,也可以采用小流量尘埃粒子计数器,但采样量不得小于il。当操作区气溶胶浓度达到稳定条件,在距主过滤器或整流格栅出口250mm的平行断面的中心处(垂直层流超净工作台面25omm的中心处)连续测试5次,求其平均值。洁净度应符合l节(2)要求。

2.3风速检定方法

采用便携式热球电风速计或便携式热敏电阻恒温风速计进行测试。在主过滤器或扩散板下游iocm处的平面的面积分成不得少于十二等分的面积,各面积中心点即为风速测点(见图1)。各测点间距离不应大于25cm。由各测点风速值计算出截面风算术平均值。风速和风速均匀性应符合1节(3)要求。

2.4噪声检定方法

超净工作台的噪声测试点应布置在工作台中心,距台前沿20cm处,高度为110cm,相当于操作人员坐着的耳部位置。声级计附近lm的范围内不应有其他反射物。噪声应符合1节(4)要求。

2.5振动检定方法

采用具有zhz一500hz的振动频率,位移为0.1拼m一1.smm,加速度为0.019一109的振动分析计。当超净工作台在正常运行条件下,将振动分析计的拾振器置于操作面的几何中心处,测出x、y、z三个轴向的总振幅值。三个轴向的振幅值均应符合1节(5)要求。

2.6照明检定方法

测点布置在超净工作台横向的中心线上,均匀布置三点,采用照度计测量,取算术平均值作为超净工作台的照度。其照度应达到1节(6)规定。

三、注意事项

(1)尘埃粒子计数器测量前需经过自净,并且头两次的测量结果不采用,因为尘埃粒子计数器需要一个平衡的过程。

(2)当测试时有多5拜m粒子出现时,应进行多次采样,当多次出现时,才认为测试数值是可靠的。

(3)在测量噪声时,设备操作区开口处若设有挡板,应全部开启,特别注意避免气流产生的风压、电磁场、振动等给测量带来的影响。

(4)在测量振动时,被测试的超净工作台应放置在振动比较小的地面上进行。在测试过程中应避免周围环境的影响。

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